騰旋：深耕動態密封領域的旋轉接頭核心廠商

   騰旋科技（股票代碼：430602）成立于1999年，是專業從事動態密封及液壓傳動產品研發、生產和銷售的高新技術企業，也是國內具備進口替代能力的動態密封核心產品制造商。公司為工業和信息化部認定的國家專精特新重點“小巨人”企業。公司已形成動態密封、傳動裝置及航空液壓件三大核心業務板塊，在工程機械、盾構機、鋼鐵、造紙等傳統領域持續鞏固優勢的同時，積極向半導體、航空航天、新能源及工業母機等戰略性新興產業拓展。2025年，公司總投資3.2億元的無錫新總部研發與生產基地正式開工建設，將打造集研發與產業化于一體的高端平臺，進一步提升企業技術創新能力與全球化運營水平。

技術能力：持續突破關鍵核心技術

   圍繞動態密封及流體傳輸關鍵環節，騰旋科技持續加大研發投入，構建以博士領銜的高水平研發團隊，建有省級重點實驗室及多個省級創新平臺。截至2025年末，公司擁有有效專利129項，其中發明專利28項，主持或參與制定4項國家及行業標準，是行業標準《旋轉接頭》（JB/T8725-2013）的起草單位。在長期技術積累基礎上，公司在高轉速密封、耐腐蝕材料應用、低泄漏控制及復雜工況適配等關鍵技術領域實現突破，核心產品性能達到國內一定水平，具備對標并逐步替代進口產品的能力。

產品體系：多系列產品覆蓋關鍵應用場景

   圍繞高端裝備與半導體設備關鍵需求，公司已形成多系列旋轉接頭及密封產品體系，廣泛應用于晶圓制造及高端裝備關鍵工藝環節：

CMP晶圓拋光專用旋轉頭

特點:

1) 低泄漏量，確保設備長時間吸附工件；

2) 尺寸小，有利于降低客戶設備高度；

3) 低啟動扭矩，設備啟動平穩；

4) 發熱量低，可長期在封閉空間安裝；

5) 模塊化設計，降低客戶采購成本；

6) 壽命長，采用機械密封;

型號：MSA08R03

晶圓減薄設備專用旋轉接頭

特點:

1) 抗粉塵能力強。獨特的結構設計，適用于輸送含粉塵及顆粒物的液體，對流體潔凈度無高要求；

2) 低啟動扭矩，設備啟動平穩；

3) 模塊化設計，降低客戶采購成本；

4) 尺寸小，有利于降低客戶設備高度；

5) 發熱量低，可長期在封閉空間安裝；

MSC3005R05

MSC3005R05為一款中空無主軸旋轉接頭，中心孔需要安裝到客戶機主軸，客戶機主軸需要開設過流體孔。該型旋轉接頭能夠和客戶機主軸集成，使得客戶設備更集成。大通道數量為5。

該型旋轉接頭采用機械密封設計。中心孔直徑為φ29。

高速旋轉接頭

特點:

1) 轉速高達3000rpm，

2) 扭矩較小；

3) 壽命長，采用特殊結構設計，配有自動風冷散熱，近乎無摩擦旋轉；

4) 結構緊湊，適合狹小空間安裝；

5) 軸向跳動小，特別適用于劃片機。

型號：MSG02R05

冷卻專用旋轉接頭

特點:

1) 流阻小，通徑大；

2) 零泄漏，不用擔心污染車間環境；

3) 低啟動扭矩，設備啟動平穩；

4) 空心主軸，尾部可串聯電滑環，中心孔用于穿電纜；

5) 尺寸小，有利于降低使用設備高度。

MSD02R08A

耐強酸強堿旋轉接頭

特點:

1) 可通入強酸和強堿溶液，流道材質、機封材料及O型圈采用耐腐蝕材質；

2) 具有一定耐顆粒污染物性能；

3) 外形尺寸小；

4) 轉速可達600rpm，需要外接冷卻循環水；

型號：MSE04R06  

ECD設備用旋轉接頭

特點:

1) 電滑環與液滑環集成一體，體積小；

2) IP54防護等級；

3) 轉速高達1000rpm；

4) 扭矩小。

型號：MSH02R03

應用實踐：深度融入半導體裝備產業鏈

    騰旋科技產品已廣泛應用于半導體設備及高端裝備制造領域，并成功進入多家行業龍頭企業供應體系。主要客戶包括北方華創、華海清科、晶盛機電、芯豐精密、邁為科技、拓荊科技、先導智能等半導體及裝備領域頭部企業，同時服務于中國航發、中航工業、中國電科等國家重點單位。在半導體領域，公司產品在CMP拋光、晶圓減薄、劃片等關鍵工藝環節實現應用，有效提升設備穩定性與可靠性，支撐國產高端裝備持續迭代升級。

產業價值：補強關鍵零部件環節

    動態密封及旋轉接頭作為高端裝備的重要基礎部件，是保障設備穩定運行的關鍵環節。長期以來，該領域高端產品主要依賴進口。騰旋科技通過持續技術攻關與產品創新，在關鍵零部件領域實現突破，有效推動高端密封產品國產替代進程，提升產業鏈自主可控水平。

    未來，騰旋將持續深耕半導體及高端裝備領域，強化核心技術研發與產業協同創新，不斷提升產品性能與應用能力，為集成電路產業高質量發展提供堅實支撐。

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