在全球半導體產業鏈博弈加劇的背景下,中國高端裝備核心部件領域再傳捷報。國內旋轉密封技術領軍企業騰旋科技,自主研發的旋轉接頭通過半導體行業頭部企業驗證,從樣品測試到量產,已累計交付300多臺旋轉接頭,保證設備的長效穩定運轉,成功打破國外品牌長期的技術壟斷。
目前騰旋已與多家半導體行業龍頭企業達成戰略合作,在半導體拋光機、薄膜沉積設備、減薄機等半導體關鍵裝備實現國產化配套。

半導體設備對旋轉接頭的潔凈度、密封性和壽命要求極為嚴苛,騰旋博士團隊正向研發,實現超長壽命(6億轉)、低扭矩(≯1.5NM)、低泄漏量(≤0.5kPa/min)及真空環境下(-90kPa至450kPa)穩定運轉的多通路機械密封式旋轉接頭設計制造技術。這不僅是動密封技術的突破,更是高端裝備自主可控的重要里程碑。
憑借突破性創新,經國家制造業轉型升級大基金推薦,騰旋高精特產品入選工信部組織的"專精特新"小巨人企業卡脖子、補短板產品展,半導體旋轉接頭、航空機械密封、航空旋轉接頭、機床高速旋轉接頭等,共同亮相北京工信部一樓展廳,展期1個月。
此次在工信部展廳的聚光燈下,既是肯定,更是號角。未來,騰旋將持續深耕密封行業,助推半導體、航空等產業升級,讓世界看見中國智造的硬核突破!